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更新于 2026-10-05

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矽锗(Silicon-germanium,缩写为SiGe),是一种合金,依矽和锗的莫耳比可以表示成SixGe1-x。常被用作积体电路(IC)中的半导体材料,可做成异质结双极性晶体管或CMOS电晶体中的应变诱发层(strain-inducing layer)。IBM公司于1989年在工业生产中引入了硅锗合金相关技术,这一新技术使混合讯号积体电路和类比积体电路的设计与生产多了一项选择。

使用传统的矽半导体器件制造技术,即可在晶圆上形成SiGe。在CMOS制程方面,SiGe制程的成本和矽制程相当,但在异质接面技术方面,SiGe制程的成本比砷化镓制程还要低。近来,使用有机金属气相磊晶 (MOVPE)沉积高纯度的含Ge薄膜、SiGe和应变矽时,会使用只有少量危害的液体来当做替代物,像有机锗化合物前体(如:异丁基锗烷、三氯锗烷、二甲氨基三氯锗烷)。

拥有SiGe制作服务的共有以下几家公司:国际商务机器(IBM)、意法半导体(STMicroelectronics)、台湾积体电路制造股份有限公司(TSMC)、飞思卡尔(Freescale,原本的摩托罗拉半导体部门)、索尼(Sony)、Atmel、Chartered Semiconductor Manufacturing、Micrel、英飞凌(Infineon)、德州仪器(TI)、IHP、Jazz Semiconductor,原本的胜讯(Conexant)。超微半导体(AMD)有意加入IBM的SiGe应变矽技术开发计划,让技术迈入65nm级规模。

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1982年,获北京钢铁学院(今北京科技大学)炼钢专业工学硕士学位;

1982至1994年,在北京钢铁学院、北京科技大学任教;

1986年至2000年期间,在日本多家研究所、公司做研究或任职;

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